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對于既要求較低的摩擦系數又要求較高硬度的場合, 將碳引入氮化鈦涂層中, 所形成的氮碳化鈦涂層（TiCN）是一種理想的選擇。由于碳元素的引入，使涂層的表面潤滑性提高, 摩擦系數降低。而且由于碳元素的引入，使涂層的內應力降低。但是氮碳化鈦涂層不具有良好的耐熱性，不適合溫度較高的場合使用，由其不能使用在超過400℃的場合,而且耐沖擊性也較差。