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設(shè)備展示
shebeizhanshi
藍(lán)寶石406
藍(lán)寶石906
藍(lán)寶石909
藍(lán)寶石406
外型尺寸
2.0*2.0*2.5米
有效鍍膜空間
590*400毫米
抽氣系統(tǒng)
分子泵+機(jī)械泵
電源
50KW,380V,50HZ,3PHASE
偏壓
高頻脈沖電源
靶源數(shù)
4,磁控濺射 1~3,離子源 1~3
控制系統(tǒng)
可編程控制器+電腦
鍍膜工藝溫度
80～180度
典型涂層
濺射TiN氮化鈦
，
濺射CrN氮化鉻
，
DLC類金剛石等等單層
，復(fù)合，納米涂層
